一种集成三维凸起顶层结构的超构表面，属于太赫兹波段超材料、超表面技术领域。金属半球体的超表面结构单元，超表面结构单元包括依次设置的金属背电极、介质层以及三维金属半球结构层，介质层利用柔性材料半球形单元结构由若干金属半球体组成。三维金属半球结构拥有良好的各向同性，并且具有在太赫兹波段对于入射平面波角度不敏感特性。进一步的与通信调制编码的思想结合，通过组合设计不同尺寸的超构材料单元阵列实现编码矩阵，有效地降低RCS并实现太赫兹波束的有效调控。在0.96THz，1.5THz附近，提出两种金属半球顶层超构表面可在电磁波入射角60°以内具有良好的对入射角不敏感特性，并有效调控太赫兹波。