发明公开
- 专利标题: 采用基板对齐特征和印刷区域对齐特征的喷射控制
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申请号: CN201980083917.3申请日: 2019-12-18
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公开(公告)号: CN113196166A公开(公告)日: 2021-07-30
- 发明人: 克里斯托弗·R·豪夫 , 伊莱·弗朗斯基 , 亚历山大·苏-康·高
- 申请人: 科迪华公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州纽瓦克
- 专利权人: 科迪华公司
- 当前专利权人: 科迪华公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州纽瓦克
- 代理机构: 北京坦路来专利代理有限公司
- 代理商 索翌
- 优先权: 62/782,442 20181220 US 62/891,807 20190826 US 16/716,143 20191216 US
- 国际申请: PCT/US2019/067161 2019.12.18
- 国际公布: WO2020/132061 EN 2020.06.25
- 进入国家日期: 2021-06-18
- 主分类号: G03F1/38
- IPC分类号: G03F1/38 ; G03F1/42 ; G06K5/04
摘要:
在一种印刷方法中,获取印刷系统中负载的基板的至少一张图像。基于所述至少一张图像,确定在所述印刷系统的参照系中所述基板上的第一对齐特征的实际位置。基于所述第一对齐特征的实际位置,确定基板上的第二对齐特征的预期位置。基于所述至少一张图像和所述第二对齐特征的预期位置,确定在所述印刷系统的参照系中所述第二对齐特征的实际位置。基于所述第二对齐特征的实际位置,确定所述基板上的印刷区域的目标位置。基于所述印刷区域的目标位置,控制印刷材料喷射到所述印刷区域中的所述基板上。