一种粒子计数器传感器的光路系统
摘要:
本发明揭示了一种粒子计数器传感器的光路系统,系统设有激光器,沿着所述激光器的光路依次设有非球面透镜、微透镜阵列、柱面透镜、矩形孔光阑、光敏区和反射镜,采样气流与光路相交位置为光敏区,所述反射镜为倾斜设置的凹面镜,所述反射镜的焦点位于光路附近的光电转换器件,所述反射镜上光路照射区域为供光路穿过的钻孔。本光路系统能够获得强度更大、更加稳定的电信号,即提高了传感器的信噪比和灵敏度,同时配合矩形光阑的结构极大地降低了传感器的光学本底噪声。
公开/授权文献
0/0