发明授权
- 专利标题: 一种双真空泵体抛光液回收装置及方法
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申请号: CN202110563181.9申请日: 2021-05-21
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公开(公告)号: CN113231964B公开(公告)日: 2022-05-20
- 发明人: 侯晶 , 刘世伟 , 许乔 , 陈贤华 , 张清华 , 蒙晨 , 郑楠 , 李海波 , 王健 , 刘民才
- 申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址: 四川省成都市武侯区科园1路3号
- 专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址: 四川省成都市武侯区科园1路3号
- 代理机构: 北京劲创知识产权代理事务所
- 代理商 李康
- 主分类号: B24B57/02
- IPC分类号: B24B57/02 ; B24B57/00 ; B24B1/00 ; B24B29/02
摘要:
本发明适用于及光学元件加工领域技术领域,提供了一种双真空泵体抛光液回收装置,包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置;所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口;抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体,所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通,所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通,所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收,提高抛光液的稳定工作状态。
公开/授权文献
- CN113231964A 一种双真空泵体抛光液回收装置及方法 公开/授权日:2021-08-10