稳流区激光/超声复合低损伤复杂微结构加工装置属于精密特种加工技术领域，该装置包括：底座、工件装夹滑台单元、激光器单元、射流枪单元和上位机；所述工件装夹运动单元、激光器单元和射流枪单元设置在所述底座上；工件装夹在所述工件装夹运动单元上；所述激光器单元发出的激光的光轴处于水平状态，并垂直于工件表面，激光光斑在垂直于光轴方向实现高频微位移修饰和宏观加工轨迹耦合；所述高压水射流参与高频往复运动的激光同时作用在所述工件表面，在降低热影响区以及重铸层的同时，剥离已加工工件表面的附着物。本发明实时剥离已加工表面重铸层，清洁已加工表面的附着物，提高已加工表面质量及亚表面性能。