- 专利标题： 化学-机械研磨粒子以及包含其的研磨浆料组合物
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申请号： CN201980087413.9申请日： 2019-12-27
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公开(公告)号： CN113302256B公开(公告)日： 2023-07-28
- 发明人: 文元均 , 金宰贤 , 申圭淳 , 朴钟大 , 李敏键 , 陈成勋 , 李玖和 , 赵京淑 , 柳在鸿
- 申请人： 株式会社东进世美肯
- 申请人地址： 韩国仁川市
- 专利权人： 株式会社东进世美肯
- 当前专利权人： 株式会社东进世美肯
- 当前专利权人地址： 韩国仁川市
- 代理机构： 成都超凡明远知识产权代理有限公司
- 代理商 魏彦
- 国际申请： PCT/KR2019/018546 2019.12.27
- 国际公布： WO2020/141804 KO 2020.07.09
- 进入国家日期： 2021-06-30
- 主分类号： C09K3/14
- IPC分类号： C09K3/14 ; C09G1/04
摘要：
本发明提供一种可以通过对研磨粒子的表面进行改性而具有高研磨速度、缺陷或划痕较少的优秀研磨品质的化学‑机械研磨粒子以及包含所述研磨粒子的研磨浆料组合物。
公开/授权文献
- CN113302256A 化学-机械研磨粒子以及包含其的研磨浆料组合物 公开/授权日：2021-08-24
