本公开揭示了一种等离子体活化水的制备装置，包括：存储单元、输送单元、第一处理单元；其中，存储单元用于存储待活化气体；输送单元用于将待活化气体加压输入至第一处理单元以及将第一处理单元处理后获得的等离子活化气体输出至第二处理单元；第一处理单元用于将所输入的待活化气体活化处理为等离子体活化气体；输送单元和所述第一处理单元形成第一回路，使得待活化气体在该回路中循环产生等离子体活化气体。装置还包括第二处理单元，用于将由第一处理单元输出的等离子体活化气体与待活化溶液反应生成等离子体活化水；输送单元与所述第二处理单元及第一处理单元形成第二回路，使得第二处理单元排出的尾气在该回路中循环产生等离子活化气体。