本申请适用于超精密加工技术领域，提供了一种超精密加工系统、方法、设备及存储介质。其中，一种超精密加工系统包括控制平台和机床设备，所述机床设备包括多个加工部件，所述多个加工部件用于对待加工工件进行加工：所述控制平台用于实时获取第一加工部件的运行数据，得到第一运行数据，所述第一加工部件是所述多个加工部件中当前处于运行状态的加工部件；所述控制平台用于在根据所述第一运行数据确定所述第一加工部件出现异常的情况下，从所述多个加工部件中确定待控制的加工部件；所述控制平台用于控制所确定的待控制的加工部件的运行状态。本申请提供的超精密加工系统可以提高超精密加工的智能化程度。