发明公开
- 专利标题： 一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法
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申请号： CN202110633143.6申请日： 2021-06-07
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公开(公告)号： CN113337803A公开(公告)日： 2021-09-03
- 发明人: 刘肖楠 , 陈颖冰 , 高翔 , 李军 , 张磊 , 田杰 , 张楠 , 陶欢 , 杨林
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构： 北京聿宏知识产权代理有限公司
- 代理商 陈敏; 吴昊
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/04 ; C23C14/24
摘要：
本发明实施例提供了一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法，解决了掩膜板在高温情况下产生形变影响蒸镀效果的问题。所述蒸镀载板包括：温度控制区和设置在所述温度控制区外围，且围绕所述温度控制区设置的温度感应区，所述温度控制区包括多个温度控制单元，每个所述温度控制单元的温度可以分别独立控制。
公开/授权文献
- CN113337803B 一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法 公开/授权日：2022-11-15
IPC分类:
