一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法,其中,该模块包括电路板、四个定位孔、金属底座、四个定位柱、三个固定块、垫片、MEMS芯片、ASIC芯片、电源管理芯片和盖板;其中,金属底座的四个角上分别设置有定位柱;电路板的四个角上开设有与每个定位柱相对应的定位孔,电路板通过定位孔套设于每个定位孔相对应的定位柱;电路板的一个对角线上设置有三个固定块;每个固定块的上表面设置有垫片,垫片的上表面设置有MEMS芯片,MEMS芯片的上表面设置有ASIC芯片;电源管理芯片设置在电路板上;盖板与金属底座的顶部相连接。本发明提高了单通道检测的可靠性,又隔离了来自金属外壳的应力,还提供了均匀的温度环境。
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