本发明公开了一种低温等离子体消毒模块、消毒装置和消毒面具，包含内芯和外套，内芯包含高压电极和绝缘盖，高压电极为圆管结构并且高压电极上端固定在绝缘盖的下侧，外套包含接地电极和绝缘外壳，接地电极为圆管结构，绝缘外壳内开有与接地电极匹配的通孔并且套设在接地电极的外侧，外套套设在内芯外侧且与内芯可拆卸连接，绝缘盖上对应高压电极和接地电极之间间隙位置开有多个进气孔。本发明结构简单、成本小、能耗低、杀菌效果好，模块化的设计能够满足不同形状、规格的应用场景，且维护、更换简便。