本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体涉及一种自由曲面控制的方法及装置，方法包括：输入自定义曲面的面型，生成自由曲面；对所述自由曲面进行分析，判断所述自由曲面是否有形成凹凸面；若所述自由曲面没有凹凸面，则所述自由曲面满足制造条件，否则对所述自由曲面的二阶导数进行调控，避免所述自由曲面出现凹凸面。本发明通过对自由曲面多项式的二阶导数的符号进行控制，使得在自由曲面在设计阶段考虑设计的自由曲面元件加工检测的可行性，避免自由曲面设计过程中因元件变化剧烈，降低自由曲面的元件制造难度。