本发明公开了一种准分子灯及其光源装置，包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管、准分子放电外管和放电空间组成，准分子放电外管内设有放电空间，放电空间内设有准分子放电内管，准分子放电内管贯穿准分子放电外管的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条、金属柔性网罩、阳极金属电极棒和箍头组成，本发明比粗的准分子灯组成的面光源的均匀性好，使用范围更广，能量效率更高。