本发明公开了一种功率半导体器件老化在线诊断方法，该方法基于功率半导体器件不同老化程度下特定电气参数对应不同结温的特性，建立其关于结温的老化诊断模型；根据实际工况中功率半导体器件的电气数据，结合热敏感电参数法和热阻网络法分别进行结温估计，通过对获得的两个估计结温的比较，实现功率半导体器件的老化种类的判定，继而实现老化程度的诊断和寿命估计；该方法提高了功率半导体器件的安全性和经济效益，是功率半导体器件老化预诊断领域的一条新思路。