本发明提供一种适用于二甲基二氯硅烷水解物裂解的真空工艺及装置，真空气体经换热器A后，液相进入接收集罐，气相及夹带的部分液相进入旋液分离罐；旋液分离罐分离液相重新返回接收集罐、气相进入罗茨真空机组；经罗茨真空机组初次压缩后气体，再经换热器B、缓冲罐后进入螺杆真空机组进一步压缩，最终气体全部排入吸收塔。真空气体通过多级换热，实现分步冷凝、压缩，既确保气体中沸点较高的组分充分液化，大幅降低真空机组负荷，满足二甲基二氯硅烷水解物裂解高高真空需求；又确保凝固点较高的组分不结晶，避免因结晶造成真空机组管道设施堵塞而引发装置系统故障；真空机组可维持系统绝对压力小于5kPa高真空环境，且连续运行周期达3个月以上。