本发明涉及一种氮化铝模板的制备方法，其包括以下步骤：(1)、在衬底的表面上溅射10～1000nm厚的氮化铝层；(2)、将表面溅射有氮化铝层的衬底进行高温退火处理；(3)、将经过高温退火处理后的表面溅射有氮化铝的衬底进行深冷处理；(4)、将深冷处理后的表面溅射有氮化铝的衬底升温至室温；(5)、将升温至室温的表面溅射有氮化铝的衬底进行低温退火处理；(6)、重复循环上述步骤(3)‑步骤(5)两到六次，得到最终的氮化铝模板。其可有效优化AlN和蓝宝石界面的应力状态，改善界面的结合性能，减小AlN的晶格应变，提高用此模板生长不同组分AlGaN的表面形貌和晶体质量。