一种MPCVD生长台的升降装置
摘要:
本发明公开了一种MPCVD生长台的升降装置,包括固定装置、动力装置、调节装置和检测装置,固定装置和动力装置连接,动力装置和调节装置传动连接,调节装置一侧设有若干检测装置,检测装置和调节装置活动连接,固定装置包括框架、工作台和反应室,工作台置于框架上侧,框架和工作台紧固连接,工作台上侧设有反应室,工作台上设有通孔,反应室底侧设有进口,工作台通孔和反应室进口连通,反应室上设有反应腔,调节装置和检测装置置于反应腔内,调节装置上侧设有生长台,生长台和调节装置紧固连接,固定装置还包括底座,底座和框架紧固连接,底座一侧设有动力装置。
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