发明授权
- 专利标题: 一种MPCVD生长台的升降装置
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申请号: CN202110743448.2申请日: 2021-07-01
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公开(公告)号: CN113502462B公开(公告)日: 2022-02-11
- 发明人: 胡常青 , 赵建海
- 申请人: 上海铂世光半导体科技有限公司
- 申请人地址: 上海市青浦区新科路303号1幢
- 专利权人: 上海铂世光半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 铂世光(上海)技术有限公司
- 当前专利权人地址: 201707 上海市青浦区新科路303号1幢
- 代理机构: 上海邦德专利代理事务所
- 代理商 余娜
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458
摘要:
本发明公开了一种MPCVD生长台的升降装置,包括固定装置、动力装置、调节装置和检测装置,固定装置和动力装置连接,动力装置和调节装置传动连接,调节装置一侧设有若干检测装置,检测装置和调节装置活动连接,固定装置包括框架、工作台和反应室,工作台置于框架上侧,框架和工作台紧固连接,工作台上侧设有反应室,工作台上设有通孔,反应室底侧设有进口,工作台通孔和反应室进口连通,反应室上设有反应腔,调节装置和检测装置置于反应腔内,调节装置上侧设有生长台,生长台和调节装置紧固连接,固定装置还包括底座,底座和框架紧固连接,底座一侧设有动力装置。
公开/授权文献
- CN113502462A 一种MPCVD生长台的升降装置 公开/授权日:2021-10-15
IPC分类: