发明公开
CN113512470A 光电倍增管用光电阴极及其制备方法
无效 - 撤回
- 专利标题： 光电倍增管用光电阴极及其制备方法
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申请号： CN202110345815.3申请日： 2021-03-31
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公开(公告)号： CN113512470A公开(公告)日： 2021-10-19
- 发明人: 章贤骏 , 方涌 , 宣兆康 , 凌建鸿
- 申请人： 杭州安誉科技有限公司
- 申请人地址： 浙江省杭州市江干区大农港路1216号2号楼6层607室
- 专利权人： 杭州安誉科技有限公司
- 当前专利权人： 杭州安誉科技有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市江干区大农港路1216号2号楼6层607室
- 代理机构： 北京国翰知识产权代理事务所
- 代理商 李笑磊
- 主分类号： C11D1/26
- IPC分类号： C11D1/26 ; C11D3/32 ; C07D405/06 ; H01J1/34 ; H01J43/08 ; H01J9/12
摘要：
本发明属于光电倍增管技术领域，具体涉及一种光电倍增管用光电阴极及其制备方法。本发明提供了一种光电倍增管用光电阴极，以铜铍合金为支撑基板，Be2N3薄膜为光电子反射层，K2CsSb薄膜为光电子发射层，弥补了现有技术中光电阴极材料量子效率低、稳定性差、噪声大的问题。