一种超声能束辅助高效低损伤超精密研抛装置及方法，属于精密特种加工技术领域，其外部包括外壳、刀柄以及研抛盘，其特征是：所述外壳内部设置有研抛装置，所述研抛装置包括超声研抛模块Ⅰ、超声研抛模块Ⅱ、超声研抛模块Ⅲ、超声研抛模块Ⅳ、超声研抛模块Ⅴ、超声研抛模块Ⅵ以及与定位连接轴，本发明既可以针对微小零部件，还可以针对大面积样件进行研抛，提升超精密研抛的效率与研抛质量，降低研抛成本，以满足零部件高效、低损伤精密制造，以提升零部件的使役性能。