一种磁控管IO手动调整机
摘要:
本发明公开一种磁控管IO手动调整机,包括电器柜、仪表柜、调整台和手握式调整器,电器柜的上侧端面作为工作台面,其上分别设置仪表柜和调整台;仪表柜上设置若干磁控管参数仪表;调整台上开设有一个测试槽位,调整台内含检测模组,检测模组与电器柜和仪表柜电气连接;手握式调整器包括电源筒和把手,电源筒与把手固定连接,其内设有电极片,所述电极片与所述电器柜内的检测电源连接。本发明通过手动操作方式对磁控管进行IO参数的检测和调整,手握式调整器灵活调整,IO参数实时显示,可以准确地对套在所述电源筒内的阴极组件进行微调,以调整阴极组件和阳极组件的同轴度,以使磁控管的最终IO参数达到工艺设定的标准范围。
0/0