发明公开
- 专利标题: 基底加工设备、显示面板制造设备和制造显示面板的方法
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申请号: CN202110356712.7申请日: 2021-04-01
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公开(公告)号: CN113539820A公开(公告)日: 2021-10-22
- 发明人: 金永大 , 金眞锡 , 朴种熙
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 田野; 韩芳
- 优先权: 10-2020-0047209 20200420 KR
- 主分类号: H01L21/3213
- IPC分类号: H01L21/3213 ; H01L21/67
摘要:
公开了一种基底加工设备、一种显示面板制造设备和一种制造显示面板的方法。该基底加工设备包括:第一工艺腔室,在第一工艺腔室中加工目标基底;第一罐,连接到第一工艺腔室,以将第一化学物质供应到第一工艺腔室;第二工艺腔室,在第二工艺腔室中加工目标基底;以及第二罐,连接到第二工艺腔室,以将第二化学物质供应到第二工艺腔室。供应到第一工艺腔室的第一化学物质中包含的金属离子具有比供应到第二工艺腔室的第二化学物质中包含的金属离子的离子浓度大的离子浓度。
IPC分类: