本发明提供一种掩模夹持模块、掩模拉伸装置及张网机，掩模夹持模块包括驱动组件、第一动块、第二动块以及夹持组件；第一动块在驱动组件的驱动下沿第一方向平移运动；第一动块包括第一接触面，第二动块包括与第一接触面相对布置的第二接触面，第一动块与第二动块通过第一接触面与第二接触面连接，且第一接触面和第二接触面被限制在垂直于第一接触面和第二接触面方向上的移动自由度，第二动块在第一动块平移运动的带动下沿第二方向平移运动；夹持组件与第二动块连接，并随第二动块运动，用于夹持掩模。如此配置，传动机构结构简单，减小了夹持力传动的误差，传动稳定可靠，运动精度高，提高对掩模的夹紧质量。