- 专利标题: 双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜
-
申请号: CN202110837475.6申请日: 2020-10-09
-
公开(公告)号: CN113595440B公开(公告)日: 2022-12-23
- 发明人: 郑少锋 , 陆轻铀 , 张晶 , 王纪浩 , 孟文杰 , 侯玉斌 , 冯启元 , 王泽
- 申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址: 安徽省合肥市蜀山湖路350号
- 专利权人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市蜀山湖路350号
- 代理机构: 合肥天明专利事务所
- 代理商 汪贵艳
- 主分类号: H02N2/02
- IPC分类号: H02N2/02 ; H02N2/06
摘要:
双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜。本申请是申请号为202011073350.2的分案申请。本发明提供了一种双折叠十字二维压电马达,包括滑板,所述滑板为上下双层结构,所述滑板内设有XY压电体架,所述XY压电体架平行地置于所述双层板之间,所述XY压电体架在X方向与Y方向的两端分别为X+和X‑端、Y+和Y‑端,所述XY压电体架内设有X压电体部、Y压电体部,所述X压电体部、Y压电体部垂直交叉布置,所述X+压电体、X‑压电体的自由端与双层板的下板相压,Y+压电体、Y‑压电体的自由端与双层板的上板相压。其优点是:压电体利用率高,推力大,尺寸小,弹力自调节,行程广,工作温区大。
公开/授权文献
- CN113595440A 双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜 公开/授权日:2021-11-02