双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜
摘要:
双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜。本申请是申请号为202011073350.2的分案申请。本发明提供了一种双折叠十字二维压电马达,包括滑板,所述滑板为上下双层结构,所述滑板内设有XY压电体架,所述XY压电体架平行地置于所述双层板之间,所述XY压电体架在X方向与Y方向的两端分别为X+和X‑端、Y+和Y‑端,所述XY压电体架内设有X压电体部、Y压电体部,所述X压电体部、Y压电体部垂直交叉布置,所述X+压电体、X‑压电体的自由端与双层板的下板相压,Y+压电体、Y‑压电体的自由端与双层板的上板相压。其优点是:压电体利用率高,推力大,尺寸小,弹力自调节,行程广,工作温区大。
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