本发明提供一种被进一步改良的准分子灯作为在放电容器内封入稀有气体和卤素的准分子灯。准分子灯(12)具备：放电容器(13)，封入有稀有气体和卤素作为发光气体；和一对第一电极(14)以及第二电极(15)，在放电容器(13)的内部产生电介质阻挡放电。稀有气体是氙或氪。放电容器(13)在其内部具备位于第一电极(14)与第二电极(15)之间且形成放电的放电形成区域和与放电形成区域连通且未形成放电的非放电区域。在将放电容器(13)的内部的空间体积设为Vb[mm3]、将放电形成区域中的放电容器的内表面积设为Sd[mm2]、将封入于放电容器(13)内的卤素原子分压设为Ph[Torr]时，满足(Vb×Ph)/Sd≥4.50。