半导体封装方法
Abstract:
本申请提供一种半导体封装方法。所述半导体封装方法包括:提供载板,所述载板包括载板本体及设置在所述载板本体上的辅助层,且所述载板包括用于贴装芯片的贴装区;提供芯片,所述芯片的正面设有焊垫和粘结层,所述粘结层为膜层状且未固化;将至少一个芯片放置于所述载板的贴装区,所述粘结层朝向所述辅助层;固化所述粘结层;形成塑封层,所述塑封层至少覆盖所述芯片的侧面,得到包括所述塑封层及所述芯片的塑封结构;执行第一加热操作,使所述辅助层熔化,并将所述塑封结构与所述载板分离;在固化的所述粘结层上形成再布线结构,所述再布线结构与所述芯片的焊垫电连接。
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