- 专利标题： 一种基于泄漏模式共振的小直径硅纳米线阵列的紫外光电探测器及其制备方法
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申请号： CN202110902426.6申请日： 2021-08-06
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公开(公告)号： CN113629080A公开(公告)日： 2021-11-09
- 发明人: 罗林保 , 王俊杰 , 曾斌 , 王悦
- 申请人： 合肥工业大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 专利权人： 合肥工业大学
- 当前专利权人： 合肥工业大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 代理机构： 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
- 代理商 卢敏
- 主分类号： H01L27/144
- IPC分类号： H01L27/144 ; H01L31/108 ; H01L31/113 ; H01L31/18 ; B82Y15/00 ; B82Y40/00
摘要：
本发明公开了一种基于泄漏模式共振的小直径硅纳米线阵列的紫外光电探测器及其制备方法，是在(100)晶向的轻掺杂硅晶圆上利用金属辅助化学湿法刻蚀方法形成有小直径硅纳米线阵列，在硅纳米线阵列上铺设有石墨烯薄膜，硅纳米线阵列与石墨烯薄膜形成肖特基势垒，从而构成紫外光电探测器。与基于无机宽禁带半导体的器件相比，本发明的器件具有响应速度快、响应度高、制备简单的优势。
IPC分类:
