发明授权
- 专利标题： 检查装置及检查方法
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申请号： CN202080025090.3申请日： 2020-01-29
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公开(公告)号： CN113632211B公开(公告)日： 2024-05-17
- 发明人: 中村共则
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 国际申请： PCT/JP2020/003248 2020.01.29
- 国际公布： WO2020/195136 JA 2020.10.01
- 进入国家日期： 2021-09-27
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66 ; G01N21/64 ; G01N21/88
摘要：
检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；相机，其对来自发光元件的荧光中较基准波长更长的波长的荧光进行摄像；及控制装置，其基于由相机所摄像的荧光判定发光元件的好坏；且基准波长是发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。
公开/授权文献
- CN113632211A 检查装置及检查方法 公开/授权日：2021-11-09
IPC分类:
