软磁复合材料及其制备方法
摘要:
本发明涉及软磁复合材料及其制备方法。一种制备软磁复合材料的方法包括:制备软磁复合材料的易面磁粉;将易面磁粉和粘结材料按预定配比制成混合浆料;在外磁场中使混合浆料中的易面磁粉的易磁化面取向为平行排列;对混合浆料进行干燥和热压以制成软磁复合材料。制备易面磁粉可包括制备软磁材料的微颗粒,进行热处理以消除应力,进行球磨处理以制备易面磁粉,以及进行洗涤、过滤和干燥。制备易面磁粉也可包括在衬底上沉积牺牲层,在牺牲层上沉积软磁材料层,刻蚀软磁材料层以分成期望尺寸的多个区域,去除牺牲层以剥离软磁材料层,获得易面磁粉,以及对易面磁粉进行洗涤、过滤和干燥。
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