一种全自动晶圆分选机
摘要:
本申请涉及一种全自动晶圆分选机,涉及晶圆分选机的技术领域,包括箱体,箱体内设置有放置台,放置台上设置有用于分选晶粒的分选机构,放置台上设置有夹持机构,夹持机构上设置有夹具一和夹具二,夹具一和夹具二用于在箱体内移动并将晶圆移动至分选机构中,放置台上可拆卸连接有未分类片料匣和已分类空/满盘料匣,夹持机构用于将未分类片料匣中的晶圆移动至分选机构中,夹持机构用于将分选后的晶圆移动至已分类空/满盘料匣中。本申请具有提升分选晶圆的效率的效果。
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