发明授权
- 专利标题: 一种全自动晶圆分选机
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申请号: CN202110965992.1申请日: 2021-08-23
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公开(公告)号: CN113649298B公开(公告)日: 2023-02-17
- 发明人: 卢国强
- 申请人: 深圳市优界科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区凌屋工业路9号厂房201
- 专利权人: 深圳市优界科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市优界科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区凌屋工业路9号厂房201
- 代理机构: 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 黄勇
- 主分类号: B07C5/02
- IPC分类号: B07C5/02 ; B07C5/34 ; B07C5/36 ; B07C5/38
摘要:
本申请涉及一种全自动晶圆分选机,涉及晶圆分选机的技术领域,包括箱体,箱体内设置有放置台,放置台上设置有用于分选晶粒的分选机构,放置台上设置有夹持机构,夹持机构上设置有夹具一和夹具二,夹具一和夹具二用于在箱体内移动并将晶圆移动至分选机构中,放置台上可拆卸连接有未分类片料匣和已分类空/满盘料匣,夹持机构用于将未分类片料匣中的晶圆移动至分选机构中,夹持机构用于将分选后的晶圆移动至已分类空/满盘料匣中。本申请具有提升分选晶圆的效率的效果。
公开/授权文献
- CN113649298A 一种全自动晶圆分选机 公开/授权日:2021-11-16