发明公开
- 专利标题: 一种La-Zr合金靶及其制备方法
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申请号: CN202110983772.1申请日: 2021-08-25
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公开(公告)号: CN113652658A公开(公告)日: 2021-11-16
- 发明人: 周煌 , 黄美松 , 马小波 , 刘维 , 刘华 , 樊玉川 , 郭利平 , 文康
- 申请人: 湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园隆园二路108号
- 专利权人: 湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
- 当前专利权人: 湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园隆园二路108号
- 代理机构: 长沙正奇专利事务所有限责任公司
- 代理商 马强; 聂午阳
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C22C1/03 ; C22C28/00 ; C22C16/00 ; C22B9/02
摘要:
本发明公开了La‑Zr合金靶及其制备方法,包括以下步骤:将La‑Mg合金铸锭与锆置于熔炼设备内进行熔炼,熔炼温度为1700~2200℃,保温时间为1~40min,使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发,制得La‑Zr合金靶;其中La‑Zr合金靶中镧的重量百分比为40%~80%,锆的重量百分比为20%~60%,La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Zr合金靶中镧与锆总质量的5~50%。本发明解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象,制得的La‑Zr合金靶成分均匀、氧含量低;该方法提高了生产效率,降低了生产成本。
公开/授权文献
- CN113652658B 一种La-Zr合金靶及其制备方法 公开/授权日:2023-03-31
IPC分类: