一种La-Zr合金靶及其制备方法
摘要:
本发明公开了La‑Zr合金靶及其制备方法,包括以下步骤:将La‑Mg合金铸锭与锆置于熔炼设备内进行熔炼,熔炼温度为1700~2200℃,保温时间为1~40min,使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发,制得La‑Zr合金靶;其中La‑Zr合金靶中镧的重量百分比为40%~80%,锆的重量百分比为20%~60%,La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Zr合金靶中镧与锆总质量的5~50%。本发明解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象,制得的La‑Zr合金靶成分均匀、氧含量低;该方法提高了生产效率,降低了生产成本。
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