本发明公开了一种MoNbTaTiVSix高熵合金及其制备方法，属于高熵合金材料技术领域；该合金由MoNbTaTiVSi六种元素组成，按照摩尔比计，合金成分为：0.9‑1.2Mo，0.9‑1.2Nb，0.9‑1.2Ta，0.9‑1.2Ti，0.9‑1.2V，0.05‑1Si。该合金通过真空电弧熔炼制成母合金锭后，利用真空吸铸模具制备成棒状样品。该高熵合金的组织结构是单一体心立方结构中析出硅化物沉淀相。由于硅化物的析出，使得该合金与传统金属材料相比，在高温下具有高硬度、高强度、高耐磨性和高耐腐蚀性等优良的性能。