移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置
摘要:
一种移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置,移动机构包括:固定平台,设有横向和纵向;横向驱动电极,位于固定平台上;横向可动电极,相对于横向驱动电极横向排布,和横向可动电极能够静电吸合;第一纵向驱动电极,位于固定平台上;纵向可动电极,相对于第一纵向驱动电极纵向排布,和纵向可动电极能够静电吸合,横向可动电极与纵向可动电极相连接;导线,一端固定,另一端与横向可动电极或纵向可动电极固定电性连接;可移动平台,有第一接合部;第二接合部,在纵向上与第一接合部相对设置,第二接合部与横向可动电极或纵向可动电极固定连接;第一接合部与第二接合部能够分离或接合。本发明移动机构的移动精度高。
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