本发明公开了一种高纯度砷烷提纯及收集装置，包括精馏塔塔釜、精馏塔和管路系统。其中，精馏塔塔釜用于将液相砷烷加热蒸发，精馏塔塔釜具有加热循环器。精馏塔用于将气相砷烷冷凝，精馏塔具有冷凝器，精馏塔的入口与精馏塔塔釜的出口连通。管路系统用于监测并收集含有砷烷的不凝汽。相比于现有技术，本发明采用分离效果更好的精馏塔纯化砷烷，并且通过在管路系统上设置终端纯化器和过滤器对砷烷进一步纯化，同时利用在线分析仪实时监测砷烷纯度，能够将砷烷粗品精制到高纯级别，并且能够达到连续收集的效果，提高了生产效率。