本发明公开了一种基于全氟烷烃分解产物的SF6气体开关设备绝缘缺陷判断方法，包括：采集待检测SF6气体开关设备灭弧室内部气体；采用气相色谱检测所采集气体中SF6气体分解产物的含量，当所述分解产物包含CF4、C2F6和C3F8中至少两种时，说明SF6气体开关设备内部存在绝缘材料故障缺陷。并可依据分解产物中CF4、C2F6和C3F8的体积分数比值，进一步运行判断SF6气体开关设备内部的绝缘材料故障缺陷类型。与现有技术相比，本发明基于全氟烷烃检测技术，监测SF6气氛中绝缘材料电热分解产物CF4、C2F6和C3F8的含量，准确判断绝缘材料的热电侵蚀程度，进而实现提高断路器潜伏性故障的诊断准确率，提高了SF6气体开关设备内部缺陷判断的准确性、可靠性和有效性。