发明公开
CN113703145A 激光装置
审中-实审
- 专利标题: 激光装置
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申请号: CN202110493235.9申请日: 2021-05-07
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公开(公告)号: CN113703145A公开(公告)日: 2021-11-26
- 发明人: 埃米尔·阿斯兰诺夫 , 金锺棋 , 裵允景 , 韩圭完
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 张晓; 韩芳
- 优先权: 10-2020-0060999 20200521 KR
- 主分类号: G02B19/00
- IPC分类号: G02B19/00 ; G02B27/09
摘要:
公开了一种激光装置。所述激光装置包括:光源,产生激光束;台;以及透镜组件,设置在光源与台之间且将激光束照射到设置在台上的基底。透镜组件包括:第一透镜组件,使从光源提供的激光束发散;偏转器,改变从第一透镜组件提供的激光束的路径;以及第二透镜组件,使从偏转器提供的激光束会聚且将会聚的激光束照射到基底。
IPC分类:
G | 物理 |
G02 | 光学 |
G02B | 光学元件、系统或仪器 |
G02B19/00 | 聚光镜(用于显微镜的入G02B21/08) |