描述了用于通过等离子体单一化工艺从基板单一化易碎器件的组合物和方法。证明了包含同时表现出耐热性和水溶性的成分的耐热涂层。这些具有高紫外光相互作用的成分允许激光相互作用以为薄而小的器件制造掩模，例如，薄至150微米或更小的基板，或存在侧边测量为1mm或更小的器件。提供了将该组合物应用于无机基板的方法，通过该方法，紫外线源激光与表面相互作用并产生掩模，该掩模随后在等离子体室中处理以分离(单一化)基板内的器件，然后用水冲洗以去除/溶解激光相互作用和等离子体保护层。冲洗和清洁后，通过拾取和放置工具将器件最终集成到电子电路中。本发明的涂层是一种可水洗的产品，可实现激光和等离子体操作的高选择性。