本申请提供一种GIS设备内部SF6气体监测系统以及监测方法，GIS设备内部SF6气体监测系统中设置有富集单元和集气单元，通过富集单元将微量的分解产物成分富集，提高待分解物组分的浓度，提高检测单元的检出限。通过使用集气单元将SF6固化形成真空环境以此形成压力差作为驱动气体流动的动力，避免了气体在现有技术中采用增压机、真空泵等在运行过程中混入油气，回充至GIS气室，从而造成的绝缘气体的污染。将待测气体回充至GIS气室中，避免气体被排放至大气中，污染环境。防止GIS气室内部绝缘气体密度下降。