- 专利标题: 芯片焊盘结构、芯片、晶圆及芯片焊盘结构制作方法
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申请号: CN202111288715.8申请日: 2021-11-02
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公开(公告)号: CN113725186B公开(公告)日: 2022-03-01
- 发明人: 张贺丰 , 林杰 , 李建强 , 李延 , 王文赫
- 申请人: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网信息通信产业集团有限公司 , 国家电网有限公司 , 北京智芯半导体科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼; ; ;
- 专利权人: 北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国家电网有限公司,北京智芯半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国家电网有限公司,北京智芯半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼; ; ;
- 代理机构: 北京润平知识产权代理有限公司
- 代理商 陈潇潇; 李红
- 主分类号: H01L23/488
- IPC分类号: H01L23/488 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供一种芯片焊盘结构、芯片、晶圆及芯片焊盘结构制作方法,属于芯片领域。芯片焊盘结构包括:第一绝缘层,包括沟槽;第一金属层,填充在沟槽中,第一金属层与芯片的内部电路相连接,形成导电通道;第二金属层,形成在第一金属层上,包括芯片与外部器件连接的焊盘区域;第二绝缘层,至少覆盖第二金属层在所述焊盘区域之外的部分以及第一金属层;焊盘区域包括测试焊盘区域和金凸块焊盘区域;金凸块焊盘区域包括多个子焊盘区域。在金凸块焊盘区域上电镀形成的金凸块表面不存在凹坑,同时能够保障金凸块与金凸块焊盘之间的有效接触,降低芯片封装后因为虚焊而导致功能失效的风险。
公开/授权文献
- CN113725186A 芯片焊盘结构、芯片、晶圆及芯片焊盘结构制作方法 公开/授权日:2021-11-30
IPC分类: