发明公开
- 专利标题: 基于光斑位置的激光聚焦点位置自动定位方法及系统
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申请号: CN202110907526.8申请日: 2021-08-09
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公开(公告)号: CN113740316A公开(公告)日: 2021-12-03
- 发明人: 贾军伟 , 潘从元 , 张兵 , 张亮
- 申请人: 合肥金星机电科技发展有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区皖水路228号1幢生产楼
- 专利权人: 合肥金星机电科技发展有限公司
- 当前专利权人: 合肥金星机电科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区皖水路228号1幢生产楼
- 代理机构: 北京知联天下知识产权代理事务所
- 代理商 史光伟; 张迎新
- 主分类号: G01N21/71
- IPC分类号: G01N21/71 ; G01N21/01
摘要:
本发明提供一种基于光斑位置的激光聚焦点位置自动定位方法及系统,方法包括:确定参考光斑位置,所述参考光斑位置为指示光斜射在聚焦透镜的聚焦点位置处的光斑位置;将样品放置在三维移动平台后,调整样品与聚焦透镜的相对距离,获取样品上的指示光在样品上形成的实时光斑位置;调整样品与聚焦透镜的相对距离,使得实时光斑位置与参考光斑位置重合。本发明的基于光斑位置的激光聚焦点位置自动定位方法及系统,能够基于斜射的指示光的光斑位置实现LIBS系统精确定位,光斑位置的可参考性强,误差低。