• 专利标题: 一种阳极制膜槽槽液温度场时空均匀分布系统及其调控方法
  • 申请号: CN202110934582.0
    申请日: 2021-08-16
  • 公开(公告)号: CN113741581B
    公开(公告)日: 2022-04-26
  • 发明人: 徐夫元段宁降林华
  • 申请人: 同济大学
  • 申请人地址: 上海市杨浦区四平路1239号
  • 专利权人: 同济大学
  • 当前专利权人: 同济大学
  • 当前专利权人地址: 上海市杨浦区四平路1239号
  • 代理机构: 北京挺立专利事务所
  • 代理商 余莹
  • 主分类号: G05D23/20
  • IPC分类号: G05D23/20
一种阳极制膜槽槽液温度场时空均匀分布系统及其调控方法
摘要:
本发明提出了一种阳极制膜槽槽液温度场时空均匀分布系统,所述制膜槽包括外部壳体、保温层、内衬四氟的钢结构内腔和顶盖,所述制膜槽内部设置有若干阳极板和阴极板,所述阳极板和阴极板等间距交替设置,所述制膜槽上设置有多个加热控温单元,所述加热控温单元平行设置于所述阳极板和所述阴极板之间,所述多个加热控温单元独立控制,互不干涉,根据不同控温区域的需求适配功率加热;本发明提出智能加热控温方法,在任意环境条件下均可适配最佳加热功率,实现了制膜槽液温度场时空均匀分布,兼顾了加热维温的快速、精准和稳定,为铅基阳极表面高效制膜提供了均一稳定的温度条件保障。
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