摘要:
本发明提出了一种阳极制膜槽槽液温度场时空均匀分布系统,所述制膜槽包括外部壳体、保温层、内衬四氟的钢结构内腔和顶盖,所述制膜槽内部设置有若干阳极板和阴极板,所述阳极板和阴极板等间距交替设置,所述制膜槽上设置有多个加热控温单元,所述加热控温单元平行设置于所述阳极板和所述阴极板之间,所述多个加热控温单元独立控制,互不干涉,根据不同控温区域的需求适配功率加热;本发明提出智能加热控温方法,在任意环境条件下均可适配最佳加热功率,实现了制膜槽液温度场时空均匀分布,兼顾了加热维温的快速、精准和稳定,为铅基阳极表面高效制膜提供了均一稳定的温度条件保障。
公开/授权文献
- CN113741581A 一种阳极制膜槽槽液温度场时空均匀分布系统及其调控方法 公开/授权日:2021-12-03