本发明公开了一种可以有效抑制时域溅射效应的低散射超表面阵列及其设计方法，由电磁各向异性的单元结构组成，单元结构包括电阻薄膜结构层、中间介质层以及金属背板层。电阻薄膜结构层采用十字形结构，通过调整十字形结构的臂长和宽度以及薄膜电阻的表面电阻，可以有效的调控单元的反射率曲线和时域溅射效应的持续时间及最大值。该超表面不仅在频域上具有低散射特性，同时在时域上具有抑制时域溅射效应的功能。因此，该超表面在频域和时域上都具有隐身功能。