- 专利标题： 卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备
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申请号： CN202111052071.2申请日： 2021-09-08
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公开(公告)号： CN113752146B公开(公告)日： 2022-11-18
- 发明人: 王念 , 吴星鑫
- 申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 专利权人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 当前专利权人： 武汉新芯集成电路股份有限公司
- 当前专利权人地址： 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 代理机构： 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 田婷
- 主分类号： B24B27/033
- IPC分类号： B24B27/033 ; B24B41/06 ; B24B49/00 ; H01L21/66
摘要：
本发明提供了一种卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备，所述卡盘清洁装置包括：机械臂；研磨盘，设置于所述机械臂，所述研磨盘用于研磨一卡盘的承载面；吸附部件，设置于所述机械臂，所述吸附部件用于吸附所述卡盘上的颗粒；驱动部件，用于驱动所述机械臂运动，以将所述研磨盘和所述吸附部件移动至所述卡盘的待清洁位置。本发明的技术方案能够改善晶圆键合结构中产生的缺陷，同时降低了保养负荷和风险。
公开/授权文献
- CN113752146A 卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备 公开/授权日：2021-12-07
