本发明公开了一种新型气体隔离装置和工作方法，包括：气体引入装置、引气管道、二元布气装置、充气接头、腔室狭缝、气体接头、管道固定装置和电容薄膜规，气体引入装置的一端连接外部气源，气体引入装置的另一端连接二元布气装置，二元布气装置连接充气接头，气体引入装置、二元布气装置和充气接头之间形成气道，二元布气装置设于引气管道内，管道固定装置夹持引气管道，腔室狭缝的一端连接充气接头，腔室狭缝的另一端呈开口状，电容薄膜规设于气体引入装置的一侧。本发明可以减少镀膜段与连接腔室安装分子泵盖板内分子泵数量，对降低设备成本具有重大意义。本发明降低空气气氛对镀膜工艺室气氛的影响，提高了成膜质量。