探测频段可调的太赫兹探测装置及制造方法、成像设备
Abstract:
本发明提供了一种探测频段可调的太赫兹探测装置及制造方法、太赫兹成像设备,可以应用于太赫兹检测技术领域。该探测频段可调的太赫兹探测装置,包括:衬底基板,具有相对设置的第一表面和第二表面;检测器,设置在衬底基板的第一表面,用于检测第一频段范围的太赫兹信号;可调谐滤波器,设置在衬底基板的第二表面,用于对第一频段范围的太赫兹信号进行滤波,使检测器检测到第二频段范围的太赫兹信号,第二频段范围通过加载在可调谐滤波器的偏置电压进行调节,以使第二频段范围在第一频段范围内变化。能够解决在增加太赫兹探测频段的情况下,不增加检测器数量,保证检测的可靠性,同时节约硬件成本。
Patent Agency Ranking
0/0