发明公开
- 专利标题: 激光系统和电子器件的制造方法
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申请号: CN201980095994.0申请日: 2019-06-11
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公开(公告)号: CN113785453A公开(公告)日: 2021-12-10
- 发明人: 田丸裕基 , 三浦泰祐
- 申请人: 极光先进雷射株式会社
- 申请人地址: 日本栃木县
- 专利权人: 极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人: 极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人地址: 日本栃木县
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 于英慧; 崔成哲
- 国际申请: PCT/JP2019/023064 2019.06.11
- 国际公布: WO2020/250298 JA 2020.12.17
- 进入国家日期: 2021-11-01
- 主分类号: H01S3/10
- IPC分类号: H01S3/10
摘要:
本公开的一个观点的激光系统在固体激光装置与准分子放大器之间的光路上配置有射束整形部、随机相位板和准直光学系统。在将入射到准分子放大器的激光的行进方向设为Z方向、将一对放电电极的放电方向设为V方向、将与V方向和Z方向正交的方向设为H方向、将射束整形部的与V方向对应的整形方向设为第1方向、将射束整形部的与H方向对应的整形方向设为第2方向、将第1方向的放大率设为E1、将第2方向的放大率设为E2的情况下,射束整形部以由E2/E1定义的放大率比超过1的方式对激光的射束截面进行放大。
公开/授权文献
- CN113785453B 激光系统和电子器件的制造方法 公开/授权日:2023-06-13