发明授权
- 专利标题： 一种电极结构及其制作方法
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申请号： CN202111351576.9申请日： 2021-11-16
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公开(公告)号： CN113793867B公开(公告)日： 2022-03-01
- 发明人: 杨天应 , 刘丽娟 , 吴文垚
- 申请人： 深圳市时代速信科技有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻前海商务秘书有限公司)
- 专利权人： 深圳市时代速信科技有限公司
- 当前专利权人： 深圳市时代速信科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻前海商务秘书有限公司)
- 代理机构： 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 张欣欣
- 主分类号： H01L29/423
- IPC分类号： H01L29/423 ; H01L21/28
摘要：
本申请提供了一种电极结构及其制作方法，涉及半导体技术领域。该电极结构包括基板，位于基板一侧的第一介质层与接触金属层，其中，第一介质层环绕接触金属层，位于接触金属层一侧的第一阻挡金属层，位于第一阻挡金属层一侧的互连金属层。本申请提供的电极结构及其制作方法，能够用于制作金属结构平坦、可靠性更好的电极结构。
公开/授权文献
- CN113793867A 一种电极结构及其制作方法 公开/授权日：2021-12-14
IPC分类:
