本发明提供一种精度高的线放电加工装置，通过简单且最低限度的改良，抑制由温度变化产生的上侧导引单元的相对位置的偏移。线放电加工装置(100)包括：支撑在上侧引导线电极(W)的上侧导引单元(82)的上侧支撑体(6)，其中，上侧支撑体(6)包括：臂(61)，下端设置有上侧导引单元(82)；轴驱动部(51)，使臂(61)沿着至少一个轴方向移动，并且由线膨胀系数大于陶瓷的材料形成；及调整块(62)，将臂(61)与轴驱动部(51)连结，并且由陶瓷形成，调整块(62)被固定于以下位置，所述位置通过轴驱动部(51)与调整块(62)的固结面产生的双金属效应而能够抑制上侧支撑体(6)的伸缩引起的上侧导引单元(82)的位移。