本发明公开了一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法，旨在解决陶瓷介质窗的加工效率低，生产成本高，烧结过程易变形的不足。该发明包括以下步骤：a、将陶瓷粉料装入冷等精压成型模具中；b、将装满陶瓷粉料的冷等精压成型模具放入冷等精压容器中，采用冷等静压缸对冷等静压成型模具加压，并保压；c、取出冷等精压成型模具，并脱模取出陶瓷介质窗生坯；d、对陶瓷介质窗生坯外轮廓进行磨削加工；e、将完成外轮廓磨削的陶瓷介质窗生坯放入烧结炉内进行烧结，烧结炉内设置支撑台，支撑台上设置若干支撑凸环，陶瓷介质窗生坯开口朝上支撑在支撑凸环上，烧结炉内装入烧结砂；f、烧结完成后取出烧结后的陶瓷介质窗。