高效超精密力流变抛光液
摘要:
本发明提供了高效超精密力流变抛光液,所述力流变抛光液的成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相,并在剪切力作用下具有非线性流变特性。取得了如下显著的进步:1)抛光效率高;吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”,防止磨粒陷入微米级固相粒子间隙或相互团聚,提高了参与加工的有效磨粒数,从而提升了抛光效率;2)热稳定性好;热稳定相吸收稳定抛光过程中产生的热量,防止抛光液由于温度升高剪切黏度降低导致流变特性衰退,从而提高抛光液的热稳定性;3)化学作用稳定性好;化学试剂缓释相向抛光液均匀释放化学试剂,从而提高抛光液的稳定性和使用寿命。
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