发明公开
CN113861847A 高效超精密力流变抛光液
审中-实审
- 专利标题: 高效超精密力流变抛光液
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申请号: CN202111097293.6申请日: 2021-09-18
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公开(公告)号: CN113861847A公开(公告)日: 2021-12-31
- 发明人: 袁巨龙 , 吕冰海 , 王佳焕
- 申请人: 杭州智谷精工有限公司 , 浙江工业大学 , 新昌浙江工业大学科学技术研究院
- 申请人地址: 浙江省杭州市余杭区余杭街道文一西路1818-2号5幢301室; ;
- 专利权人: 杭州智谷精工有限公司,浙江工业大学,新昌浙江工业大学科学技术研究院
- 当前专利权人: 杭州智谷精工有限公司,浙江工业大学,新昌浙江工业大学科学技术研究院
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市余杭区余杭街道文一西路1818-2号5幢301室; ;
- 代理机构: 北京中济纬天专利代理有限公司
- 代理商 陈振华
- 主分类号: C09G1/02
- IPC分类号: C09G1/02
摘要:
本发明提供了高效超精密力流变抛光液,所述力流变抛光液的成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相,并在剪切力作用下具有非线性流变特性。取得了如下显著的进步:1)抛光效率高;吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”,防止磨粒陷入微米级固相粒子间隙或相互团聚,提高了参与加工的有效磨粒数,从而提升了抛光效率;2)热稳定性好;热稳定相吸收稳定抛光过程中产生的热量,防止抛光液由于温度升高剪切黏度降低导致流变特性衰退,从而提高抛光液的热稳定性;3)化学作用稳定性好;化学试剂缓释相向抛光液均匀释放化学试剂,从而提高抛光液的稳定性和使用寿命。