本发明实施例公开了一种滤波器的制备方法、滤波器和双工器，通过在第一保护衬底的一侧和/或第二保护衬底的一侧形成至少一层谐振器层，以使第一保护衬底与第二保护衬底之间形成沿滤波器厚度方向设置的至少两层谐振器层，至少两层谐振器层中的相对应的设定膜层的厚度不同，设定膜层为下电极层、上电极层、压电层中的至少一者。本发明技术方案，使得通过控制不同谐振器层沉积的设定膜层的厚度即可实现对质量负载层厚度的控制，以及通过测量不同谐振器层的设定膜层的厚度来计算出厚度差即可测量出质量负载层的厚度，因此可以精确控制和测量质量负载层的厚度，有利于对谐振器层的精确调频，进而可以精确控制滤波器的频率。